fab有5大module,分别是litho,etch,thin film,imp,cmp和diff,其中etch又分为dry和wet,分别用等离子体和酸液做蚀刻主体,thin film分为pvd和cvd,区别在于是否有无化学反应做主体,diff和imp同时兼具退火之能,5家module协作,最终把芯片制造出来。
另外5家module分别有工艺部和制造部对应,制造部又跟设备部相联系,设备与环水材电等沟通,就形成了一个完备的制造车间。
周四上午有两个重要的会议,一个是与客户的weekly meeting,一个是ye的defect meeting,其实主要是highlight各家module的问题,这个时候pie不是主题,但也要有人参与。
孔明本来还不够格,不过张伟临时有事,就让孔明当个桩子充数。
会议室里是ye的主管王科在主持,另外还有2名工程师,其余的大都是module的人,pie算上孔明,有3个人参加。
孔明坐在会议室的最后面,打起精神来要听懂,却还是觉得很迷糊。
defect meeting一般是ye发现在某process之后有扫到defect,然后追溯清楚之后,就会打到某家module,如果该module解不掉,就要每周过来报进展,如果拖太久,还会被highlight到厂长那里,会被review的很惨。
会议持续了一个多小时,孔明就记住了etch连续被highlight了两次,而且被的很惨,孔明都有点同情他们了。
最后一个case是cmp家的,做报告的人是文斌,他准备的报告非常长,看上去收了很多数据的样子,最后他将问题归结为设备parts有问题,已经责令设备部更换了。
二科pie主管梁衡突然问:“这个机台过多少wafer做PM?”
文斌愣了一下,说了一堆自己家每天都在盯数据很辛苦之类就是说不清楚多少wafer之后做PM,最后还是同来的设备部工程师看不下去,替他回答了。
梁衡又问:“翻到slides 15,都超了PM时间,为什么不做PM?”
文斌有点失色,不情不愿,翻到slides 15,解释说:“客户的产品要的急,产能跟不上,没有办法,只好拖PM时间了。”
梁衡又追问:“产能跟不上,是之前买设备的时候没做评估?还是机台满载率没做到?中间有没有优化的空间?跟vendor聊过吗?”
文斌又是一阵嗫嚅,又是设备工程师救驾,说已经在请vendor评估了,目前有两个方案,一个是更新recipe,一个是优化派货顺序。
梁衡皱起了眉头:“更换recipe?谁同意做这个评估的,量产recipe你告诉我怎么更换?客户会同意吗?”
这个问题设备工程师回答不出来,文斌擦了擦汗说:“会后再补充会后再补充。”
果然如孔明所料,会议之后,文斌带着3个工程师过来了,有机台owner,有设备,有vendor,他们详细解释了即使更换recipe,也不会动到量产问题,只是程序的优化。
梁衡听完之后,说:“先找几个lot试一下,别全上。”
文斌见梁衡被说服,喜笑颜开的说:“你放心你放心,到时候肯定会请pie做评估的。”
得,他又绑定了一家,有事一起抗,没事大家笑哈哈。