周一早上到了公司,开交接的时候,值班工程师说夜里有个lot的wat挂了,章丘看了一下lot,说:“小孔,一会儿你去查一下。”
孔明脱口而出道:“这是ct cmp的问题,我一会儿就发邮件给他们。”
wat异常的参数并不是ct的电阻,而是m1 bridge,这怎么是ct cmp的锅呢?
章丘随口问道:“你已经查过了?”
孔明挠挠头,说:“我只是记得当时这个lot好像inline就有问题,不过当时放下去了,我会再去确认一下的。”
事实是,当孔明看到那个异常lot的wat数据时,他的脑海里直接出现了一个答案,没有分析与推理过程,没有数据检索过程,孔明直接就断定是cmp的问题,这让他自己也吓了一跳,所以当章丘寻求confirm的时候,孔明就回答得没那么自信了。
交接结束之后,孔明赶紧去查inline数据,ct cmp之后的量测并没有异常,defect倒是有扫到一片residue,不过当时只是抽扫了一片,所以有可能没有扫到问题。
好像陷入了僵局。
张伟决断说:“拦下来一片,重测不过的话,做个fa吧。”
fa是倒是个方法,不过是切片和制样要求比较高,因为要准确的找到bridge的地方,孔明本来不想去做fa的,可是眼下也没有好的支持数据,总不能锅砸在自己手里,所以便取出一片worse的,拿去做切片。
一般来说,拦下客户的wafer做切片,是比较困难的,因为有的客户可能本来就下的货不多,因为watfail了三分之一的测试点,就全部fail报废,是不太明智的,一般会进行换点重测,通过的话,客户也同意,个别情况下,客户还会waive wat不通过的wafer,实在是为了早点出货,芯片上市,档期对产品来说是非常重要的。
另外,报废的wafer找不到肇事者,责任该退给谁呢,毕竟一片wafer就是一万多,也不是小数目啊,超过3片,可是要在mrb解释的,所有对客户的wafer,一般处理起来都比较慎重。
张伟虽然觉得孔明在交接的时候说的有点满,不过也不是完全不可能,况且自己的小弟,无论如何是要挺的!
重测的结果依旧达到了fail条件,而且这种metal bridge的问题比较严重,直接就没办法work,所以孔明老老实实的跑进车间取了出来,然后填了报废单,做了handbook,又吭哧吭哧的去fa房间做了切片,因为是客户的wafer,所以直接找厂长拿了p1的红卡,当天下班前就出来了结果,ct cmp的时候造成了tungsen的residue,进而造成了m1的bridge,而ct bridge因为testkey设计的问题,并没有抓到这个问题。
这个事情暴露出来两个问题,一是ye的recipe需要tighten,二是wat的testkey需要进一步优化,提高指向性,当然,最终的锅还是cmp的,虽然他们也比较冤,但设备出了问题,该背锅就背锅,这也逃不掉。
对于孔明的洞见,fa结果出来之后,连张伟都有点看不清这个小弟了。瞎猫碰上死耗子?这也未免太准了点。