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二十二 清道夫

小说:还有人做半导体吗 作者:仰面清风明月

  wet因为各向同性的刻蚀特性,以及温和的速率,再加上清洗的效果,一直有清道夫的别名。

  同时wet是ye的好帮手,二者对defect是0容忍。就好像洗过脸要照镜子一样,如果发现脸上没洗干净,恨不得拿肥皂把皮都搓下来一层。当然如果是伤疤或者胎记,那就是他们的噩梦了。

  所幸还有整容团队,thin film其实更像泥瓦匠,cvd下大雪,pvd下暴雪。cmp磨一磨,小脸又变得光洁溜溜,那可太好了,如果dishing呢,crack呢,哎,还是不想了吧,糟心。

  在所有module里面,孔明跟wet打交道的时候最舒心,wet从上到下都弥漫着一股温和的气息,或许他们自觉是module里最弱势的群体,或许是他们与世无争,所以他们的态度非常和善。

  “小泉,忙吗,帮个忙呗。”孔明笑着就来找石泉了。

  石泉是跟孔明一起入职的新人,在module的这三个月来,他已经是一名建recipe的熟练工了。

  “干啥?”石泉因为看的小说太多了,眼镜度数已经攀爬到800度了。

  孔明手搭在block上,说:“你懂的,recipe嘛。”

  “你妹。哪一层的?”

  “mim hm etch之后,现在是一个season,30秒,需要建2个season,各20秒,3个season,各15秒,4个season,各10秒。”

  “干什么?现在不都是量产recipe了吗,客户让改?”

  “山人自有需求,客户有人搞定。”

  石泉查看了一下自己的工作日程,说:“明天上午给你。”

  孔明点头谢道:“好的,麻烦了,周末请你吃串。”

  石泉也再玉兰租房,跟孔明住的挺近,周末约一下也方便。

  石泉笑说:“串是必须的,另外你是不是得给我解释解释啥叫mim,不能白让人干活吧。”

  对于新人来说,因为有太多东西要学,除了本部门的,还要了解其他部门的行事,虽然大多数人在了解了个大概之后就失去了进取心,只知道follow fab的rule了。

  孔明笑说:“挺上进嘛,还好我有做功课。mim就是metal metal嘛,上极板,下极板,中间绝缘层,这三层就像个汉堡,形成了电容器,用来做信号发射的天线,震荡震荡,就震到外面了。因为要刻蚀到下极板,挺厚的,所以用了hm,魏哥就是担心etch困难,他们家的recipe也不好动,所以就麻烦你了嘛。”

  石泉哼了一声说:“可不就是看我们好欺负嘛,好吧,看你讲的还算清楚,这次就放过你了。”

  孔明笑着摆手,说:“那行,麻烦了。”

  回到自己的座位上,孔明思索了一下,跑到魏延的座位前问:“魏哥,wet之后,要不要让ye也建不同的recipe去扫?”

  魏延说:“不用了,这里的defect很难抓,没必要浪费产能,先跑几片wafer看看,测个full mapping的wat观察一下。”

  孔明一拍脑袋,说:“噢,忘记建wat的mim mapping recipe了,我还得去请波波帮忙。”

  钱波是wat的工程师,跟孔明的关系不错,人胖乎乎的,像个弥勒佛,孔明叫他波波。




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